工艺展览
先导智能获得真空体系及蒸镀设备专利真空体系的能源消耗较小
2024.04.02
作者: 工艺展览
金融界2023年12月11日音讯，据国家知识产权局公告，无锡先导智能配备股份有限公司获得一项名为“一种真空体系及蒸镀设备“，授权公告号CN220149639U，请求日期为2023年5月。
专利摘要显现，本实用新型触及真空体系技术领域，公开了一种真空体系及蒸镀设备，真空体系包含罗茨泵组、机械泵组、分散泵组以及保持泵组，罗茨泵组连通于蒸镀设备的榜首腔体和第二腔体，机械泵组连通于罗茨泵组，分散泵组连通于罗茨泵组和榜首腔体，保持泵组连通于分散泵组和罗茨泵组之间，保持泵组用于在分散泵组发动前，使保持泵组和分散泵组之间的压强到达分散泵组进行预热时所需的安全压强。选用本实用新型的真空体系，使用保持泵组使得分散泵组之间的压强到达分散泵组进行预热所需的安全压强，分散泵组预热时分散泵组的前级泵组无需继续作业，真空体系的能源消耗较小。